afei 2010-08-07 15:58:06 次
单频准分子激光,是脉冲气体激光,在电流通过时被激活,释放出某一波长的单色光。气体是由惰性气体和卤素混合而成,激活的惰性气体和卤素可形成卤化物 “Excimer”一词来自激态分子的意思,即受激态准分子是一种激态二聚体“Excimer Dimer”,这两个单词组合成 “Excimer”。目前应用的单频准分子激光主要有以下几种:氩氟(ArF)准分子激光 波长193nm;氪氟(KrF)准分子激光 波长248nm;氙氯(XeCl)准分子激光 波长308nm; 氙氟(XeF)准分子激光 波长351nm 等。
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